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全封閉式桌(zhuo)面顯(xian)影(ying)機 主要用于半導體制造(zao)中晶(jing)片的(de)(de)顯(xian)影(ying)工藝，性(xing)價比高(gao)，穩定性(xing)好，重復性(xing)好，對顯(xian)影(ying)作業有非常理想的(de)(de)效(xiao)果。設備配有一路顯(xian)影(ying)和(he)一路水、一路氣(qi)吹功能(neng)，并且噴嘴(zui)位置可程(cheng)控移(yi)動(dong)，實現自動(dong)顯(xian)影(ying)和(he)清洗(xi)作業。

全新外觀設(she)(she)計，適配(pei)實驗(yan)(yan)(yan)室實驗(yan)(yan)(yan)操作 先進的設(she)(she)計理念，模(mo)塊(kuai)(kuai)化(hua)設(she)(she)計 可快速拆卸(xie)和替換原(yuan)有功能模(mo)塊(kuai)(kuai)，操作便(bian)捷(jie) 支持(chi)去邊、背洗、勻膠(jiao)、顯影、清洗等功能模(mo)塊(kuai)(kuai)個(ge)性(xing)(xing)化(hua)定(ding)制(zhi)(zhi) 可實現(xian)不(bu)同功能模(mo)塊(kuai)(kuai)的自由組合(he)定(ding)制(zhi)(zhi) 配(pei)載精密(mi)的運動(dong)控制(zhi)(zhi)系統，提高實驗(yan)(yan)(yan)精度(du)及重復性(xing)(xing)