等離子清洗機

一、設(she)備(bei)介(jie)紹(shao)：

PT1000-PE等離子清洗機是一款專門(men)針(zhen)對科(ke)研院所研制的小批量樣品表面處(chu)理設備，利(li)用真空(kong)環(huan)境產(chan)生等(deng)離(li)子(zi)體去處理樣品的表面，達到(dao)常規(gui)清洗(xi)方法(fa)無(wu)法(fa)達到(dao)的效果(guo)。

二(er)、設備(bei)參數(shu)：

型號：PT1000-PE

腔體材質：鋁(lv)合金(jin)

供電電源：AC220V

射頻電源功率：0-150W 可調

射頻頻率：40KHz

真空度：≤100Pa

氣體路數：雙路

氣體流量：0.1—1L/min(可調(diao))

控制：觸屏/手動

清洗時間：0—300 秒連續可調

內腔尺寸：226mm*126mm*255mm（寬*高*深）

外形尺寸：471mm*380mm*478mm（寬*深*高）

重量：≈30KG

真空泵：愛特，ARV-4

等離子清洗機

三、設備的優點：

1、滿足8寸(cun)以下基片使(shi)用，適用性廣(guang)。

2、無環境污(wu)染、無化學品消耗、機臺本(ben)身不產生(sheng)污(wu)染物。

3、高效清洗(xi)，快速達成需要(yao)的表(biao)面親水性。

4、應用廣泛，且(qie)對處(chu)理產(chan)品無損傷，不(bu)改變材料特性。