專注半導體行業
的(de)儀器制造商(shang)和服務商(shang)
簡要描述：等離子清洗機1、采用射頻電源、自動匹配器，一鍵式操控。2、低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。3、無環境污染、無化學品消耗。4、可處理形狀復雜的材料，材料表面處理的均勻性好。5、適用性(xing)廣，各種材(cai)料(liao)、形狀都可以處理。
所在城市：無錫市 廠(chang)商性質：生產廠家更新日期：2023-05-09訪 問 量(liang)：594詳細介紹
| 品牌 | LEBO science | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,電子,綜合 |
設備的優點：
1、采用射頻電源、自動(dong)匹配(pei)器，一鍵(jian)式操控。
2、低溫等離子體，能量低、密度高(gao)，適(shi)合處理特殊材(cai)料。
3、無環境污(wu)染(ran)、無化學品消耗。
4、可處理形狀復(fu)雜的(de)材(cai)(cai)料，材(cai)(cai)料表面處理的(de)均勻(yun)性好。
5、適用性廣(guang)，各種材料、形狀都可(ke)以(yi)處理。
腔體材質 鋁合金(jin)
供電(dian)電(dian)源 AC220V、1000W
濺射電壓(ya)：MAX 2500V
濺射電流(liu)：MAX 30mA
靶材尺寸：直(zhi)徑57mm，厚度0.1~0.5mm
電(dian)源功率 0-300W可調
射頻頻率 13.56MHz
真空(kong)度 ≤100Pa
氣體(ti)路數 2路
氣體(ti)流(liu)量(liang)(liang) MFC氣體(ti)質量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)計 500SCCM（可調）
控制 觸屏
清洗時間 1-6000s連續可(ke)調
處理尺寸：≤4寸
內腔尺寸 Φ147mm*145mm（直徑*深）
外(wai)形(xing)尺寸 500mm*525mm*365mm（寬*深*高(gao)）
重量(liang) ≈38KG
真空泵 愛特VRD-4
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